半導(dǎo)體晶圓噴光刻膠一體機(jī)
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品介紹
技術(shù)特點(diǎn)
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晶圓點(diǎn)膠機(jī)，伺服絲桿，龍門(mén)結(jié)構(gòu)，雙Y、雙X軸，運(yùn)行穩(wěn)定；搭載自研壓電式噴射閥，大視野視覺(jué)相機(jī)，點(diǎn)膠精度高
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機(jī)械手搬運(yùn)機(jī)構(gòu)，采用上銀4軸微小型機(jī)器人進(jìn)行搬運(yùn)
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機(jī)械手自動(dòng)把點(diǎn)好膠的晶圓搬運(yùn)到真空烘烤機(jī)中，自動(dòng)關(guān)閉艙門(mén)在真空環(huán)境中利用光照烘烤固化
產(chǎn)品特性
應(yīng)用行業(yè)
產(chǎn)品視頻
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