技術特點
晶圓點膠機,伺服絲桿,龍門結構,雙Y、雙X軸,運行穩定;搭載自研壓電式噴射閥,大視野視覺相機,點膠精度高
機械手搬運機構,采用上銀4軸微小型機器人進行搬運
機械手自動把點好膠的晶圓搬運到真空烘烤機中,自動關閉艙門在真空環境中利用光照烘烤固化